Введение. ОАО «Новосибирский завод полупроводниковых приборов с особым конструкторским бюро» (НЗПП) является одним из крупнейших в России изготовителей

ОАО «Новосибирский завод полупроводниковых приборов с особым конструкторским бюро» (НЗПП) является одним из крупнейших в России изготовителей полупроводниковых электронных компонентов и законченных приборов.

Целью предприятия является выпуск качественных интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых приборов, обеспечение выпуска широкой номенклатуры изделий с минимальным сроком разработки и поставки, а также поддержание долгосрочного сотрудничества как с поставщиками материалов и комплектующих, так и с потребителями изделий [1]. Однако технологии и оборудование, используемые НЗПП, отстают от передовых на 20–30 лет. Одним из путей достижения поставленных задач и сокращения отставания является внедрение современных систем контроля дефектности полупроводниковых пластин.

Новизна темы. На сегодня оборудование серии Surfscan фирмы KLA-Tencor в производство полупроводниковых приборов практически не внедрено как на НЗПП, так и на других предприятиях России и стран СНГ. Единственная работающая установка находится у ЗАО «Эпиэл» в г. Зеленоград.

Актуальность темы. Корпорация KLA-Tencor является мировым лидером в сфере оборудования для полупроводникового производства, её продукцию используют все крупные производители полупроводников.

В соответствии с действующей на НЗПП технологией контроль чистоты поверхности осуществляется с помощью микроскопа для 1–3 пластин из партии по двум диаметрам при увеличении 200^х[2; 3]. Сканирование посредством Surfscan имеет ряд преимуществ перед данным методом:

– объективность;

– повторяемость полученных результатов;

– сканирование всех пластин партии по всей поверхности;

– автоматический сбор и хранение результатов.

Применение данной установки может существенно повысить качество выпускаемой продукции и рентабельность производства.

Постановка задачи. Целью данной работы является освоение управления установкой контроля дефектности пластин Surfscan 6220 и демонстрация возможности её использования для исследования технологических слоёв нитрида кремния и оксида кремния. Для этого требуется:

– перевести на русский язык документацию, приложенную к установке;

– настроить оборудование для работы с пластинами диаметром 100 мм.;

– провести экспериментальный сравнительный анализ эффективности нового оборудования и старых методов контроля дефектности;

– определить необходимые параметры в рабочей программе SurfScan для контроля дефектов в слоях заданных материалов.

Обоснование выбора метода решения. Установки фирмы KLA-Tencor используются ведущими производителями ИМС на всех стадиях послеоперационного контроля пластин. Использование Surfscan позволит приблизить качество и стоимость продукции, выпускаемой НЗПП, к требуемому уровню.

Планируемые эксперименты и схемы установок. Схема используемой в работе установки контроля дефектности полупроводниковых пластин представлена на рисунке 1.

Рисунок 1.1 — Схема установки Surfscan 6220