Термины и определения. Для понимания данных, выводимых установкой Surfscan 6220, и для управления представлением этих данных

Для понимания данных, выводимых установкой Surfscan 6220, и для управления представлением этих данных, в разделе Help установки приведён глоссарий. Далее перечислены самые необходимые его части.

Альтернативные данные — когда рецепт указывает сбор данных дефект/помутнение или помутнение/дефект, прибор собирает информацию о дефектах и помутнении, автоматически отображая первичные данные, указанные первыми. Можно наложить альтернативные данные на карту пластины или отобразить на карте пластины, гистограмме, или обоих. В дефект/помутнение, помутнение - альтернативные данные.

Площадь — термин, который определяет дефект больше, чем максимальный размер LPD (максимальный размер точечного дефекта). Карты пластин отображают площади красным, в виде ряда аккордов. Царапины являются областями, которые соответствуют отношению длины к ширине и минимальным требованиям к длине. Для отображения областей в карте пластины выбрать кнопку 9 в сводном поле.

Расщепление ячеек — кодированные цветом интервалы гистограмм LPD или помутнения. Surfscan 6xx0 отображает данные в виде карт и гистограмм, используя схемы цветового кодирования, определяемые рецептом расщепления ячеек. Каждая ячейка другого цвета. (1-белый, 2-голубой, 3-синий, светло-4-зелёный, 5-тёмно-зелёный, 6-оранжевый, 7-коричневый, 8-фиолетовый). Данные в пределах расщепленной ячейки могут быть исключены или включены в отображении данных, включив или отключив кнопку расщеплённой ячейки в сводном поле. Интервалы расщеплённых ячеек могут быть указаны в рецепте или на гистограмме.

Калибровочная характеристика — характеристика, соответствующая сечению (эффективность рассеяния) измерения диаметров LPD для данной подложки, или которая приводит измеренное помутнение к фактическому помутнению. Калибровочные характеристики используются для нормализации результатов сканирования.

Каталог кассеты — область справа окна сканирования, которые показывает содержание кассеты. Прибор отображает номера слотов, содержащих пластины. Если прибор не может определить, является ли слот заполненным или нет, он отображает знак вопроса (?). Номера слотов имеют цветовую маркировку, а именно:

Цвет Описание

Белый пластины не были обработаны

Желтый пластина обрабатывается

Зеленый пластины прошли критерии сортировки

Красный пластины не прошли критерии сортировки

Тип кассеты — тип используемой кассеты. Surfscan 6xx0 может хранить калибровки для нескольких типов одновременно. Каждый тип кассеты должен быть откалиброван с использованием калибровочного приложения. Тип кассеты может быть выбран в рецепте для подложки.

Аккорд — это совокупность дефектов, которые больше, чем максимальный размер LPD для сканирования. Ряд аккордов представляет собой площадку. См. Области.

Меню управления — меню управления списками действий управления окном. Вы можете открыть меню управления, нажав на "—" в левом верхнем углу любого окна. Вы можете закрыть окно приложения, двойным кликом по “—”.

Меню базы данных — иконка меню Surfscan 6xx0, которая позволяет выбрать утилиты базы данных: браузер, просмотр записей, отчетов, и экспорт-импорт.

База данных — база данных напоминает таблицу. Строки в таблице представляют собой записи в базе данных. Столбцы в таблице, представляют собой поля данных. База данных Surfscan 6xx0 хранит сводки пластин, карты пластин, калибровочные таблицы, системный журнал событий, рецепты и информацию учетной записи пользователя. База данных должна регулярно сохраняться. Старые данные должны удаляться из базы данных, когда не требуются. Вы можете сохранить данные перед удалением, экспортируя их в файл экспорта.

Система раннего предупреждения — Surfscan 6xx0 приложение, которое контролирует деятельность инструмента и предупреждает об опасности, когда важная функция уже не в пределах нормы.

Пограничное исключение — в рецепте значение пограничного исключения определяет расстояние от края пластины по направлению к центру, исключенное из результатов проверки. Минимальное значение составляет 1 мм. Максимальное значение составляет половину диаметра пластины.

Исключение шаблона — регионы на пластине, которые исключены из результатов сканирования. Шаблоны исключения создаются с помощью диалогового окна настройки пользователя и предназначенные для использования с помощью диалогового окна Рецепт.

Экспорт — для извлечения данных из базы данных и хранения на отдельном жестком диске или дискете. Экспортированные данные остаются в базе данных. Вы можете экспортировать сводки пластин, карты пластин, данные калибровки, рецепты, таблицы конфигурации, коды доступа и записи подложек PSL сферы. Экспортированные данные могут быть импортированы в другие инструменты.

Расширенный канал частиц — в инструментах с панелью двойной выборки, канал частиц расширил динамический диапазон. Это позволяет увеличивать значения максимального размера на каждой настройке усиления. Расширенный канал частиц может быть включен для прибора нажатием на флажок в диалоговом окне конфигурации учетных записей, и включен для конкретного рецепта нажатием на круг управления в диалоговом окне подробного определения метки, которое появляется при нажатии на кнопку Area From SEL в диалоговом окне рецепта.

Извлечение — сделать копию выбранных элементов данных. Извлеченные данные затем могут быть проанализированы или модифицированы без изменения исходных данных.

Усиление — параметр рецепта, который устанавливает диапазон сбора данных во время сканирования. Для Surfscan 6220 инструментов, усиление может быть от 1 до 8.

Помутнение — рассеивание фона, вызванное дефектами на поверхности подложки, такие как шероховатости подложки и повреждение полировки. Данные помутнения могут быть отображены в карте, гистограмме, или обоих. Мутность измеряется в частях на миллион (ppm) падающего пучка.

Отклонение помутнения — насколько изменяется уровень от среднего помутнения. Изменение может быть абсолютным (выраженным в ppm) или относительными (выраженное в процентах). Используется в качестве параметра сортировки в рецептах.

Гистограмма — гистограмма отображает распределение LPD или помутнения последней проверки. Когда отображается карта дефектов, гистограмма показывает размер LPD напротив рассчитанного количества. Когда отображается карта помутнения, гистограмма показывает значение помутнения (частей на миллион) напротив подсчитанного количества. Ячейки в гистограмме имеют цветовую маркировку. Цвета соответствуют цветам кнопок разделения ячейки в области Сводки пластин окна сканирования. Гистограмма отображается в нижней части окна сканирования и может быть увеличена до заполнения области карты пластин.

Home — состояние индексатора кассеты, где индексатор в базовом (полностью поднятом) положении.

Индексер - механизм, который перемещает кассету вверх и вниз.

Точечный световой дефект (LPD) — дефект, обнаруженный на поверхности пластины и который находится в пределах порога сбора данных и пределах максимального размера.

Локатор - пластина, на которую опирается кассета, находясь на индексере. Локатор должен быть изменен в зависимости от размера кассеты.

LPD окно — окно, которое появляется в режиме увеличения и которое отображает размер и расположение LPD под курсором.

LPD курсор — курсор, используемый в увеличенной карте пластины. Этот курсор автоматически привязывается к ближайшему LPD. LPD окно отображает местоположение и размер LPD.

Техника сравнения пластин — предыдущая и следующая карты сравниваются и Surfscan 6xx0 генерирует добавленную карту дефектов, карту удалённых дефектов и общую карту дефектов.

Максимальный размер — максимальный размер LPD, собираемых в процессе сканирования.

MicroView — Surfscan 6xx0 аналитический инструмент, который отображает топологию поверхности подложки и который показывает характерное распределение рассеяния света, часто связанное с загрязнителями. MicroViews может быть представлен в цветном, каркасном, монохромном или точечном формате, и может рассматриваться в разных видах.

Наложение — в окнах сканирования и браузера, возможность отображения альтернативных данных в карте пластины. Данные не кодированы цветом расщепления ячейки. Чтобы наложить данные, используйте кнопку области наложения 9 и кнопку наложения альтернативных данных 0.

Курсор панорамирования — курсор, который появляется в окне панорамирования и позволяет выбрать область увеличенной карты пластины для просмотра.

Окно панорамирования — окно, которое появляется в верхней левой части увеличенной карты пластины, позволяющее пользователю указать площадь пластины для увеличения. См. панорамирование курсора.

Первичные данные — когда рецепт указывает сбор данных дефект / помутнение, прибор собирает данные дефектов и помутнения и автоматически отображает первичные данные, указанные первыми. Можно наложить или отобразить альтернативные данные по мере необходимости. В Дефект / помутнение, дефект первичные данные.

PSL сферы — полистирольные латексные сферы (PSL) на подложке, использующиеся для калибровки прибора для данной подложки, толщины пленки и размера LPD.

Рецепт (используется для калибровки) — параметры, используемые при принятии калибровки сканирования.

Обратное заполнение получателя — опция в диалоговом окне Конфигурация пользователя. Включает обратное заполнение кассеты-получателя (пластины помещаются в кассету-получатель снизу вверх, начиная с первого доступного пустого слота).

Сканирование — для сбора данных с пластины. Surfscan 6xx0 собирает и обрабатывает данные дефектов и помутнения с помощью сбора данных, отображения данных, настроек и параметров сортировки, указанных в текущем рецепте. Surfscan 6xx0 отображает результаты сканирования в сводном окне, карте пластины и гистограмме.

Счетчик сканера — функция счётчика сканирования была добавлена, чтобы показать, сколько пластин были обработаны со стартовой даты. Это сообщение также накапливает количество сканирований с начала и количество сканирований с начала определенной пользователем даты или времени. Счетчик сканирования появляется в окне сообщения о сканировании, которое отображается при выборе About Scan из меню справки в приложении для сканирования.

Царапина — прибор классифицирует область дефекта как метку, когда соотношение длины и ширины и минимальная длина площади такие, как определено в подробном диалоговом окне метки.

Окно состояния — окно в левом нижнем углу окна сканирования, которое отображает последовательность сканирования, режим сканирования и сообщения о состоянии.

Сводное окно — окно в левой части окна сканирования, где перечисляются результаты сканирования пластин и др. информация сканирования.

Системное меню — в системе Surfscan 6xx0 системное меню - экран иконок отображающихся после входа в систему.

Порог — нижний предел для сбора данных LPD. Это значение сохраняется в рецепте.

Комментарий пластины — текст, который может быть сохранен с записью пластины. Комментарий пластины может быть введен в окне сканирования, выбрав кнопку «—» в сводном поле.

ID пластины — имя, номер или другой идентификатор, применяемый к пластине. ID пластин хранятся в базе данных прибора.

Карта пластины — графическое отображение дефектов или помутнения, найденных на пластине. Карты имеют цветовую маркировку, показывая диапазон размеров LPD или мутности. Карты пластины могут отображаться в окне сканирования во время проверки и в окне браузера при рассмотрении карт пластин, хранящихся в базе данных.

Сводка пластин — результаты сканирования пластины, отображаемые или напечатанные в виде таблицы. Сводное окно в окне сканирования отображает выбранную сводную информацию.

Увеличить — чтобы увеличить карту пластины или гистограмму. Surfscan 6xx0 предусматривает пять уровней увеличения карты пластины.

4.3 Параметры рецепта сканирования

Перед сканированием кассеты с пластинами необходимо задать параметры рецепта. Эти параметры определяют сбор данных, сортировку пластин, отображение результатов. Вид окна рецепта представлен на рисунке 4.1.

Рисунок 4.1 — Окно параметров рецепта сканирования

Далее перечислены параметры с их описанием.

(Имя подложки) — калиброванный тип и толщина подложки. Для выбора типа подложки выберите кнопку SEL.

Area (mm2) — разрешённая сумма всех областей в мм2, от 0 до 9999.

Area count —всего областей допускается.

Area from —размер LPD, выше которого прибор классифицирует области. По умолчанию значение Max Size. Максимальное значение составляет 9999. Для установки факторов царапин выберите кнопку SEL, чтобы открыть диалоговое окно Detailed Scratch Definition и введите отношение длины к ширине и минимальные значения длины. Чтобы включить расширенный канал частиц, выберите кнопку SEL для открытия Detailed Scratch Definition диалогового окна и нажмите на кольцо-кнопку, чтобы Вкл/Выкл.

Auto Align (X-Y) — Вкл или Выкл. При включении данной функции прибор автоматически выравнивает карту пластины по параметрам, указанным в диалоговом окне Пользовательская конфигурация (требуется опция координаты XY.)

Auto Print — установите значение On, чтобы включить автоматическую печать, Off - чтобы выключить. Чтобы выбрать подробные параметры печати, выберите кнопку SEL.

Auto Save —установите значение On, чтобы позволить автоматическое сохранение сводок пластин, карт пластин и TTF-файлов. Установите в Off, чтобы отключить. Чтобы выбрать подробные параметры сохранения, выберите кнопку SEL

Bin Limit — установите On, чтобы использовать предел ячеек, указанный в диалоговом окне Bin Limit. Предел ячейки устанавливает число дефектов, разрешённых в каждой ячейке.

Bin Split — величина, указывающая на количество используемых ячеек. Чтобы установить Bin split, выберите кнопку SEL.

Cassette — тип и конфигурация касеты. Тип может быть выбран с помощью цикла управления. Вы можете выбрать только тот тип кассеты, который был откалиброван для текущего диаметра подложки.

Конфигурация кассет: L: > < (левая только), R: > < (правая только) L: <R:> (справа-налево), L: > R: <(слева-направо), или L: <R:> <(отсортированы).

Detailed Scratch Definition — чтобы установить факторы царапины, выберите кнопку SEL, следующую за Area From, для открытия диалогового окна Scratch Definition и введите отношение длины к ширине и значение минимальной длины. Чтобы включить или отключить расширенный канал частиц, нажмите на кнопку-кольцо и установите на On или Off.

Display Option — данные для сбора, отображения и сохранения Дефект / Помутнение (Основные данные = дефект), Помутнение / Дефект (Основные данные = помутнение), только дефект или только помутнение.

Display Type — начальная комбинация графического отображения карты и гистограмм: карты, гистограммы или Карта + Гистограмма.

Edge exclusion — расстояние от края пластины по направлению к центру, которое исключается из результатов сканирования. Минимальное значение составляет 1 мм. Максимальное значение составляет половину диаметра пластины.

Extended particle channel — включение расширенного канала частиц в рецепте (если расширенный канал частиц включен для системы). Чтобы включить или отключить расширенный канал частиц, кликните на Area From SEL кнопку, а затем нажмите на кнопку-кольцо и установите значение Вкл или Выкл.

Flat/Notch exclusion — использовать шаблоны исключения. Определение шаблонов исключения.

Gain/Max Size — настройки усиления инструмента. Усиление принимает значения от 1 до 8. В результате максимальный размер дефекта (Max Size) показывает максимальный размер дефекта для этого усиления.

Haze Average — максимально допустимое помутнение, выраженное как среднее помутнение (в ppm.) на измеренной площади поверхности.

Haze Deviation — допустимая величина отклонения помутнения от среднего, выраженная в абсолютном (PPM) или относительным (в процентах) представлении на выбираемом пользователем проценте от площади поверхности пластины.

Haze From — минимальное собираемое значение при измерении помутнения. По умолчанию 1 /250 от диапазона значений.

Haze Peak — максимально допустимое значение помутнения в частях на миллион (ppm).

Haze Range — ограниченный, полный или расширенный диапазон. Значения диапазона помутнения, в частях на миллион, определяются текущей настройки усиления.

Haze Region — максимальная допустимая области пластины, содержащая помутнение, выраженная в процентах от измеряемой площади поверхности пластины.

LPD Count — максимальное количество LPD допускаются: 0 до 99999.

LPD/cm2 — количество LPD разрешено на квадратный сантиметр. По умолчанию Измеряемая площадь поверхности пластины/Всего LPD(Measurable Wafer Surface Area/Total LPD).

Scratch (mm2) — допустимая общая площадь царапин.

Scratch Count and Length — допустимое общее количество царапин и общая длина всех царапин.

Show — расчёт размера LPD и отображение параметров: диаметр или поперечное сечение.

Sorting — Выкл или Вкл. При включенной сортировке и установке Cassette L: < R: > < (отсортированы), неудачные пластины выгружаются в левую кассету, годные пластины выгружаются в правую кассету.

Substrate diameter — 100 мм., или 200 мм. Если текущий тип кассеты не откалиброван для диаметра подложки, тип кассеты будет автоматически установлен в <DEFAULT>.

Threshold — наименьший размер LPD, включенный в результат сканирования. Порог по умолчанию использует стандартное значение для текущей настройки усиления.

Throughput — скорость, с которой пластина обрабатывается инструментом: высокая, средняя, обычная или низкая.