Настройка программного обеспечения

Изначально установка измерения дефектности пластин Surfscan 6220 была настроена для работы с пластинами диаметром 200 мм. Чтобы выполнять сканирование пластин используемого предприятием диаметра 100 мм. было необходимо произвести переналадку оборудования.

Для изменения рабочего диаметра пластин требовалось:

1) изготовить локатор для требуемого диаметра пластин (выполнено сотрудниками НЗПП);

2) выполнить калибровку кассеты Empak 9100;

3) в параметре рецепта Cassette установить имя откалиброванной кассеты (см. рисунок 4.1);

Как прибор выполняет калибровку кассеты. При калибровке кассеты, прибор измеряет перемещение, необходимое для загрузки пластин из слота 24 и слот 2. Слот 2 является вторым от низа, слот 24 сверху. Прибор движет вакуумную шайбу с включенным вакуумом в сторону пластины № 24. Индексер затем опускает пластину в сторону шайбы. Когда прибор обнаруживает снижение вакуума, указывающее на контакт с пластиной, прибор записывает количество предпринятых ходов. Затем прибор перемещает шайбу в положение пластины 2, повторяет тест и сохраняет результаты для этого слота.