Содержание. Технология сращивания протонированных пластин кремния с поверхностью гидрофильных подложек с целью получения структур кремний на изоляторе

Технология сращивания протонированных пластин кремния с поверхностью гидрофильных подложек с целью получения структур кремний на изоляторе

В.И.Графутин, А.Г.Залужный¹, Е.П.Прокопьев, В.Ф.Реутов², А.Л.Суворов, С.П.Тимошенков³, Б.Ю.Шарков, Ю.А.Чаплыгин³

ГНЦ Институт теоретической и экспериментальной физики

117259, Москва, В-259, ул. Б.Черемушкинская, 25

¹Московский государственный инженерно-физический институт (Технический университет)

115409, Москва, Каширскон шоссе,31

²Об`единенный институт ядерных исследований (ОИЯИ)

Московская область, Дубна, ул. Жолио Кюри,6

³Московский государственный институт электронной техники (Технический университет)

103498, Москва, К-498, Зеленоград

Поступила в редакцию 2001 г.

Аннотация

Предложены модифицированная технология газового скалывания и модель связывания гидрофильных протонированных пластин кремния, которая позволяет увеличить прочность связывания при низких температурах отжига. Рассмотрены различные технологические стадии и схема процесса получения структур кремний на диэлектрике (КНИ), многослойных структур и тонких монокристаллических слоев кремния, германия, полупроводников и и структур германий на изоляторе, полупроводниках и и др. во влажных условиях (включая и возможность использования химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания).