2015-04-20
840
В. Перспективы применения структур "кремний на изоляторе" (КНИ)
1.Технологическая схема производства структур кремний на диэлектрике, многослойных структур 
и тонких монокристаллических слоев кремния, германия, полупроводников 
и 
и структур германий на изоляторе, структур кремний на полупроводниках и и др. в рамках smart-cut технологии в прямом сращивании пластин кремния и пластин кремния и германия во влажных условиях (включая возможность химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания)
2. Экспериментальные данные по очистке и окислению стандартных пластин кремния
