Другим важным фактором технологии прямого сращивания пластин является наличие микродефектов, от которых зависит качество изготовляемых приборов. Сосредоточим внимание на рабочей пластине, которая является основой для активных элементов. Концентрация межузельного кислорода [Oi] и кислородных преципитатов в рабочей пластине играет определяющую роль в определении содержания микродефектов в сращенных пластинах. Известно, что преципитаты кислорода удивительным образом улучшают качество пластин посредством геттерирования быстродиффундирующих примесей металлов. Большое количество исследований [5] было посвящено установлению связи между [Oi], преципитатами кислорода, объемными дефектами и микродефектами поверхности. Исследовался также процесс отжига, обязательный для достижения бездефектной поверхности кремния, а также процессы, вызывающие дефекты поверхности, такие как окисление, приводящее к накоплению дефектов. Например, наличие преципитатов кислорода и лишенных кислорода участков (DZ) будут напрямую зависеть от температуры, используемой для сращивания пластин. Связывание двух пластин кремния каждая из которых имеет определенную концентрацию кислорода и свою термическую предысторию, не нарушает плоскость сращивания. Это показано в [5] для двух SiO2 // SiO2 сращенных окисленных пластин кремния (Рис.10). Можно увидеть отсутствие линейных дефектов, пересекающих DZ с каждой стороны связывания. В случае, если дефекты связывания присутствуют в виде пустот, вызванных малыми частицами, дефекты будут присутствовать в форме дислокаций, распространяющихся вдоль плоскости скольжения, противоположной направлению сращивания.
|
|