Состояние сращенных пластин

В дополнение к самому сращиванию наиболее важным аспектом в технологии производства КНИ структур является получение монокристаллического слоя кремния заданной толщины методом утончения. Утончение обычно проводится на пластине, называемой рабочей пластиной (она используется для создания активных элементов). Вторая пластина сращенной пары называется опорной пластиной. Обе пластины играют важную роль в состоянии сращенных пластин. В этом разделе рассматривается ключевой фактор процесса утончения.

Утончение обычно начинается с операции шлифовки, при которой толщина активной пластины уменьшается до нескольких микрометров требуемой конечной толщины. После этого пластины химически травятся для удаления повреждений, внесенных операцией шлифовки. В заключение пластины полируются до требуемой окончательной толщины. Отметим, что утончение заканчивается без значительных изменений плоскостности срощенных структур. При чистой механической полировке кремния, такой как полировка алмазом, может сохраняться высокая степень плоскостности и параллельности пластин. Однако она может приводить к повреждению поверхности, недопустимому в кремниевой технологии. Поэтому алмазная полировка была заменена специальной полировкой [5], в которой используют густую смесь коллоидной кремниевой суспензии в растворе гидроокиси натрия, перекиси водорода и воды. Эта полировка дает свободную от повреждений поверхность кремния, необходимую для производства приборов. Понимание проблемы утончения связано с рассмотрением основных параметров, используемых для характеристик плоскостности. Поэтому вначале рассмотрим параметры плоскостности, а затем обсудим сам процесс утончения.