Библиографический список

1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность/Уч. пособие. М.: Высшая школа, 1986, с. 256-262.

1. Карабанов С.М., Чижиков А.Е. Технология материалов и изделий электронной техники. Пленочная электроника.//Учеб. пособие.Рязань. РГРТУ. 2009. С. 50-60.

2. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии/Учеб. пособие. М.: Высш. школа. 1988, с. 106-150.

Варианты заданий

№ группы	120								121
№ подгруппы	1				2				1				2
№ бригады (Вариант)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)
Раб. газ	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe
J_i, мкА/см²	100	110	120	130	140	150	160	170	100	110	120	130	140	150	160	170

№ группы	124
№ подгруппы	1				2
№ бригады (Вариант)	1 (1)	2 (2)	3 (3)	4 (4)	1 (5)	2 (6)	3 (7)	4 (8)
Раб. газ	He	Ne	Ar	Xe	He	Ne	Ar	Xe
J_i, мкА/см²	120	140	110	160	150	170	110	100

№ группы

122

123

№ подгруппы

№ бригады (Вариант)

1 (1)

2 (2)

3 (3)

4 (4)

1 (5)

2 (6)

3 (7)

4 (8)

1 (1)

2 (2)

3 (3)

4 (4)

1 (5)

2 (6)

3 (7)

4 (8)

Раб. газ

J_i, мкА/см²

110

130

140

110

140

150

160

100

120

150

160

120

130

140

160

Характеристики применяемых газов

Род газа	Гелий	Неон	Аргон	Ксенон	Воздух
Z₁, отн. ед.	2	10	18	54	-
M₁, г/моль	4	20,17	40	131,3	-
d, Ǻ	2,15	3,54	3,6	4,0	-
, нм, (0⁰С, 760 тор)			63		60
, мм.(0⁰С, 10^-1 тор)			0,4788		0,47

Характеристики распыляемых материалов

Материал	Mg	Al	Ti	Cr	Ni	Cu	Ag	Au
Z₂, отн. ед.	12	13	22	24	28	29	47	79
M₂, г/моль	24,3	27	47,9	52	58,7	63,54	107,87	196,97
d₂, Ă	1,33	1,3	1,44	1,24	1,24	1,28	1,3	1,3
, г/см³	1,74	2,7	4,5	7,15	8,9	8,93	10,5	19,3
, мм.(0⁰С, 10^-1 тор)	0,5	0,45	0,42	0,43	0,43	0,44	0,45	0,45