Данные эксперимента для зеркал SiAgZr

 

В эксперименте использовались три идентичных зеркала на которые подавались разные напряжения. Величина тока на образец составила j=2.65 мА/см², рабочее давление P_D=7.5x10^-5 Торр. Проводилась серия экспозиций с разными временами. На рис. 5, 6, 7 представлены коэффициенты отражения на разных длинах волн после каждой экспозиции для трех зеркал.

 

Рис. 5. – Коэффициенты отражения для зеркала SiAgZr #1

 

Рис. 6. – Коэффициенты отражения для зеркала SiAgZr #2

 

Рис. 7. – Коэффициенты отражения для зеркала SiAgZr #3

Данные эксперимента для зеркал SiZrО₂

зеркало отражательный дейтериевый волна экспозиция

В эксперименте использовались два идентичных зеркала на которые подавались разные напряжения. Величина тока на образец составила j=1,482 мА/см², рабочее давление P_D=7.5x10^-5 Торр. Проводилась серия экспозиций с разными временами. На рис. 8, 9 представлены коэффициенты отражения на разных длинах волн после каждой экспозиции для двух зеркал.

 

Рис. 8. – Коэффициенты отражения для зеркала SiZrО₂ #1

 

Перед экспозицией образец был взвешен m₀ = 0.132940 г ± 20 мкг. После серии экспозиций вес образца изменился ∆m = 40 мкг, что соответствует распыленному слою толщиной 57,5 нм.

 

Рис. 9. – Коэффициенты отражения для зеркала SiZrО₂ #2

Перед экспозицией образец был взвешен m₀ = 0,133670 г ± 20 мкг. После серии экспозиций вес образца изменился ∆m = 10 мкг ± 20 мкг, что соответствует распыленному слою толщиной 43 нм.

 

Вывод

 

Зеркала из материалов с высокой отражательной способностью, покрытые оксидными пленками, могут в дальнейшем использоваться в системе оптической диагностики в области диверторной плазмы. Из экспериментальных результатов видно, что при бомбардировке зеркал с пленочным покрытием ионами малой энергии, которая будет использоваться для чистки камеры, толщина пленки существенно не меняется.