Лекция № 15 Вакуумная система для получения сверхвысокого вакуума (Р < 10-5)

Такая система ( рис.15.1 ) содержит прогреваемый вакуумный блок 7. Прогрев до 400°С уменьшает газовыделение всех элементов вакуумной системы, непосредственно под­ключаемых к насосу 4. Состав остаточных, газов сверхвысоковакуумных систем показан на рис. 15.2. Основные характеристики сверхвысоковакуумных насосов приведены в табл. 15.1.

Таблица 15. 1

Основные характеристики сверхвысоковакуумных насосов

Камера снабжена несколькими вакуумметрами 9, 10, 11, обеспечивающими измерение давления от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Вакуумметр 5 контролирует работоспособность насоса 4. Высоковакуумная часть системы собирается на двух насосах: 18 и 1. В качестве высоковакуумного насоса 18 можно использовать пароструйный насос с ловушкой 17, турбомолекулярный или криоадсорбционный насос без ловушки. Клапан 16 служит для под­ключения течеискателя к вакуумной системе, а вакуумметры 14 и 15 – для измерения давления в области среднего и высокого вакуума. В качестве низ­ковакуумного насоса 1 чаще всего используется вращательный насос. Схема высоковакуумной откачки максимально упрощена, так как используется только в нестационарном режиме при запуске установки.

В тех случаях, когда требуется повышенная надежность системы по предот­вращению попадания паров рабочей жидкости в вакуумную камеру, в качестве предварительной системы откачки используются агрегаты с криоадсорбционными насосами.

Оптимальные значения коэффициентов использования сверхвысоковакуумных насосов в зависимости от их быстроты действия в откачиваемом объекте и числа элементов в схеме между насосом и откачиваемым объек­том приведены на рис. 15.3.

Состав атмосферного воздуха приведен в таблице 15.2.

Таблица15.2

Состав атмосферного воздуха