2. Межузельный механизм.
Атомы примеси, имеющие малые размеры,
внедряются в полупроводник между узлов кристаллической
решетки. Атомы примеси как бы "продавливаются" между
атомами, находящимися в узлах кристаллической решетки.
По данному механизму диффузия идет быстрее,
чем по вакансионному.
По межузельному механизму происходит диффузия