III. Диффузия

Диффузия — процесс переноса легирующих примесей из области с большей концентрацией в область с меньшей концентрацией. То есть происходит выравнивание концентрации и распределение частиц в фиксированном объеме. Диффузионные слои имеют толщины от сотых долей микрометров.

Процесс диффузии осуществляется в два этапа:

1. Загонка примесей.

2. Разгонка примесей.

На первом этапе на кристалле создается слой насыщенный примесью. Он проводится в присутствии кислорода, что способствует образованию на поверхности слоя борасиликатного стекла (B₂O₃) или фосфорно-силикатного (P2O₅).

Далее примесь перераспределяется при температуре 800–1000 градусов в отсутствии внешнего источника примесей. Рабочей атмосферой является смесь инертного газа и кислорода.

Диффузанты бывают двух видов: твердые и жидкостные.