Диффузия в потоке газа-носителя из твердого диффузанта

Пластины и диффузант помещаются в кварцевую трубу. Пластины находятся в высокой температурной зоне, а диффузант в низкой.

После установления температурного режима пластины помещают в рабочую зону. Испаряющиеся молекулы примесей перемещаются газоносителем в пластине.

Диффузия в потоке газа-носителя из жидкостного источника.