Электронно-лучевая литография

Существует два способа: сканирующая и проекционная. В сканирующей ЭЛЛ резист экспонируется (сканируется последовательно перемещаемым в плоскости рисунком, фокусированным пучком электронов). Управление электронным лучом производится по определенной программе с помощью компьютера, поэтому ненужно применять шаблоны или маски.

Последовательное сканирование всего рисунка увеличивает время экспонирования всего рисунка.

Рассмотрим проекционную ЭЛЛ.

Здесь используется несфокусированный поток электронов для получения всего рисунка в течение одной экспозиции.

Здесь используется фотокатод маскируемый тонким металлическим рисунком, имитирующим топологию схемы или ее элемент.

Фотоэлектроны имитируемые катодом перед попаданием на подложку (анод) ускоряется приложенным между катодом и подложкой напряжением в 20кВ. Положение изображения детектируется путем собирания лучей от меток на пластине детекторами.