Назовите условие(я) необходимое(ы)е для осуществления процесса ионного травления материала

Ионное травление материала начинается, когда энергия ионов превысит некоторую величину получившую название пороговой энергии распыления. При энергии иона они передают атомам энергию большую, чем энергия смещения атомов в материале .

Что такое коэффициент распыления? От чего он зависит?

Коэффициент распыления – число удаляемых атомов на один падающий ион. Зависит прежде всего от энергии и атомной массы иона, энергии сублимации материала, подвергающегося травлению, и угла падения ионного пучка.

К = N_a / N_и ,

где N_a - число выбитых (распыленных) атомов материала; N_и - число ионов, бомбардирующих материал.