С чем связано ограничение значений ВЧ-мощности при ионном травлении?

Ограничение связано с низкой термостойкостью органиченских масок, которая ограничивает плотность мощности на ВЧ-электроде и требует эффективного охлаждения подвергаемых травлению образцов. Органические маски не выдерживают длительного воздействия температур выше 423-473 К. Существуют критическая плотность мощности на ВЧ-электрод w_кр., которую выдерживают стандартные фото- и электронорезисты при трех основных способах охлаждения образцов на ВЧ-электроде.