Схематично изобразите систему (конструкцию) ионного травления

На рисунке 10 приведена схема традиционного диодного реактора. Противоположные электроды возбуждают плазму обычно в диапазоне радио частот со средней мощностью разряда порядка единиц киловатт.

Рисунок 10. Схема диодного реактора ионного травления:

1 – заземленный электрод, 2 – ВЧ – электрод, 3 – ВЧ – генератор, 4 – ВЧ – плазма, 5 - подложка, 6 – высоковакуумная откачка, 7 – газоввод.

Стадии протекания процесса плазменного травления.

В общем случае механизм ПТ можно представить следующим образом:

1. доставка молекул газа в зону разряда;

2. превращение молекул газа в ионы и ХАЧ под воздействием электронного удара;

3. доставка ионов и ХАЧ к поверхности материала, подвергаемого травлению;

4. адсорбция ионов и ХАЧ на поверхности материала;

5. химические реакции ХАЧ и физическое взаимодействие ионов с поверхностными атомами и молекулами;

6. десорбция продуктов реакции с поверхности материала;

7. отвод продуктов реакции из реактора.