Схематично изобразите систему(ы) (конструкцию(и) плазмохимического травления

а)б)

в)

Рисунок 1. Схемы реакторов, реализующих плазмохимическое травление: а – реактор объемного (цилиндрического) типа с индукционным способом возбуждения плазменного разряда; б - реактор объемного типа с емкостным способом возбуждения плазменного разряда; в – реактор планарного (диодного) типа с емкостным способом возбуждения плазменного разряда. 1 – корпус реактора, 2 – газоввод, 3 – рабочие пластины, 4 – индуктор, 5 – система откачки, 6 – заземленный электрод, 7 – ВЧ-электрод, 8 – область плазменного разряда.