Теоретическая модель

Заострить иглу можно при помощи электрохимического травления. Травление, обеспечивающее более высокую воспроизводимость основной формы иглы, чем обрезание, проводили на УТИ (рис. 1).

Для получения вольфрамовых СТМ зондов, имеющих достаточно малый радиус в сочетании с их высокой механической жесткостью, была применена методика [4], в основе которой лежит метод ступенчатой вытяжки зонда при электрохимическом травлении (рис.4). Зонд, изготовленный по методике ступенчатого травления в идеале должен иметь вид, показанный на рис. 2.

Рис.2 Модель четырехступенчатой структуры зонда.