Заключение. В результате проведенных исследований была разработана технология изготовления вольфрамовых зондов для СЗМ NanoEducator методом электрохимического травления

В результате проведенных исследований была разработана технология изготовления вольфрамовых зондов для СЗМ NanoEducator методом электрохимического травления, использование которой позволяет получать качественные зонды с наименьшим радиусом закругления острия в сочетании с высокой механической жесткостью. Разработанная технология не предъявляет повышенных требований к навыкам оператора и характеризуется высокой воспроизводимостью.

Литература

1 Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. // Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. Российская академия наук, Институт физики микроструктур. Нижний Новгород, 2004г. -110 с.

2 Руководство пользователя СЗМ NanoEducator.

3 Anne-Sophie Lucier. Preparation and characterization of tungsten tips suitable for molecular electronics studies //

4 Васильев С.И., Савинов С.В., Яминский И.В. Зондирующие эмиттеры для сканирующей туннельной микроскопии // Электронная промышленность, 1991, №3, с.42