При точечных дефектах атомы примесей вызывают искажение кристаллов решетки.
Энергия образования вакансии. Равновесная концентрация вакансий в кристалле.
Энергия образования вакансии возникает в результате нарушения связей в кристаллической решетке при удалении атома из узла.
Равновесная концентрация вакансий:
где — энергия образования одной вакансии, — постоянная Больцмана, T — абсолютная температура. Формула показывает, что концентрация вакансий должна сильно зависеть от температуры.