Для диффузии вакансий и атомов необходимо два условия
1. Около атома должна находится вакансия, для образования которой необходимо энергия
2. Атом должен обладать энергией для перехода в эту вакансию ().
Коэффицие́нт диффу́зии — количественная характеристика скорости диффузии, равная количеству вещества, проходящего в единицу времени через участок единичной площади при градиенте концентрации, равном единице.
Зависимость коэффициента диффузии от температуры в простейшем случае выражается законом Аррениуса:
,
где — коэффициент диффузии [м²/с]; — энергия активации [Дж]; — универсальная газовая постоянная [Дж/К]; — температура [K].