Для диффузии вакансий и атомов необходимо два условия
1. Около атома должна находится вакансия, для образования которой необходимо энергия 
2. Атом должен обладать энергией для перехода в эту вакансию (
).

Коэффицие́нт диффу́зии — количественная характеристика скорости диффузии, равная количеству вещества, проходящего в единицу времени через участок единичной площади при градиенте концентрации, равном единице.
Зависимость коэффициента диффузии от температуры в простейшем случае выражается законом Аррениуса:
,
где
— коэффициент диффузии [м²/с];
— энергия активации [Дж];
— универсальная газовая постоянная [Дж/К];
— температура [K].






