2015-07-21
700
Растровый электронный микроскоп (РЭМ) широко применяется в областях научной и практической деятельности включая металловедение, медицину, химию. Высокая информативность, простота изготовления объектов для исследования и высокая степень автоматизации делают РЭМ наиболее универсальным прибором для исследования структуры и топографии поверхности.
1.Получение карт ориентации
Наиболее распространенный вариант в анализе образцов методом ДОЭ. Электронный зонд перемещается по сетке точек, для каждой точки формируется картина ДОЭ, компьютерная программа индексирует ее и сохраняет информацию об ориентации и фазовом составе. Полученная информация используется для получения ориентационных или фазовых карт, представляющих полную характеристику микроструктуры образца.
Карта распределения фаз: синее – феррит, Карта ориентации кристаллитов для феррита красное – аустенит (гранецентрированная структура)
(http://www.oxinst.ru/html/EBSDbasics.htm) (http://www.oxinst.ru/html/EBSDbasics.htm)
2.Идентификация фаз
|
|
|
Метод ДОЭ часто используется для идентификации неизвестных фаз. В этом случае данные о химическом составе используются для создания списка фаз-кандидатов из базы данных, а затем кристаллографическая информация из картин ДОЭ используется для идентификации. Преимуществом является высокое пространственное разрешение– на уровне первых десятков нанометров. Кроме того, можно разделить фазы одинакового состава, но различной кристаллической структуры.
Получение спектра ЭДС и картины ДОЭ в выбранной на электронном снимке точке
(http://www.oxinst.ru/html/EBSDbasics.htm)
