Детектори електронів

Електрони, що покидають зразок, бувають двох типів з різко відмінними властивостями. Вторинні електрони емітуються мішенню з енергією, максимум якої припадає на 3-5 еВ. Відбиті електрони мають широкий спектр енергій від нуля до енергії пучка. Для матеріалів з середніми та високими атомними номерами розподіл відбитих електронів має максимум, який становить
(0,8-0,9) Е ₀. Для того щоб сформувати зображення у РЕМ, інформацію від електронного сигналу необхідно перевести в електричний сигнал. Для цього потрібні відповідні детектори.

Будь-яку детекторну систему характеризують три важливі параметри:

- кут φ, під яким детектор приймає сигнал;

- тілесний кут збору: Ω =S/r², де S – площа детектора, r – відстань від точки падіння електронного пучка до детектора;

- відсоток електронів, що потрапляють на детектор.

На випадок плоского зразка, розміщеного перпендикулярно до пучка електронів, зміст кутів φ та Ω можна зрозуміти з рис. 2.10.

Рисунок 2.10 – До пояснення поняття збору електронів

Детекторні системи типу сцинтилятор-