Зразок у ролі детектора (струм мішені)

Зразок являє собою вузол (рис. 2.13), у який входять (і_вх=і_з) та виходять (і_вих=і_в+і_ве+і_п) електричні струми (і_в, і_ве, і_п – струми відбитих, вторинних та тих, що пройшли мішень (поглинутих мішенню), електронів. Усі електрони, незважаючи на їх енергії, еквівалентні, оскільки, за визначенням, струм – це заряд, що переноситься за одиницю часу. Для зразка у РЕМ струми мають такі величини: і_в = 0,3 і_з, і_ве = 0,1 і_з. З урахуванням цього сумарний струм електронів, що покидають поверхню зразка, становить 0,4 і_з. Якщо зразок не електропровідний або не заземлений провідник, то у цьому випадку і_вх>і_вих, тобто він буде заряджатися. Стікання заряду можна забезпечити за допомогою звичайного заземлення. У цьому випадку струм електронів і_п (його часто називають струмом мішені) становитиме і_з-і_в-і_ве. Таким чином, баланс струмів матиме той вигляд, який задовольняє закон Кірхгофа, а саме: і_вх= і_вих; і_з = і_в+і_ве+і_п..

Рисунок 2.13 – Ілюстрація вхідних та вихідних струмів зразка

Для того щоб використати у ролі сигналу струм електронів, що поглинаються, він повинен пройти “шлях” на землю через операційний підсилювач, який може працювати зі струмами менше 10^-11 А і мати широку смугу пропускання.

Щоб позбутися струму вторинних електронів, на зразок подають потенціал +50 В. Тоді баланс струмів матиме вигляд і_з = і_в +і_п.