Практическое применение сканирующих зондовых микроскопов для создания наноструктур

С момента своего изобретения сканирующие зондовые микроскопы использовались не только для исследования и получения изображений рельефа поверхности, но и для поверхностного модифицирования. Результаты многочисленных исследований свидетельствуют о том, что СTM и AСM могут быть использованы в качестве инструмента, позволяющего в области пространства, располагающегося между поверхностью конденсированной фазы и зондом, локально создавать условия, благоприятные для формирования как активных хемосорбционных мест на поверхности конденсированной фазы, так и для образования высокореакционных частиц (свободных радикалов, атомов, ионов, электронов) в газовой (плазменной) фазе, локализованной под зондом. Возможность контролируемого перемещения зонда над поверхностью конденсированной фазы (подложки) позволяет создавать на ней упорядоченные наноразмерные структуры.

На настоящий момент времени можно выделить следующие группы технологических процессов, совершаемых с помощью СЗМ на областях поверхности подложки, имеющих характерные размеры порядка нескольких нанометров:

- процессы локального окисления

- процессы локального испарения

- процессы активации адсорбции или десорбции

- локальное химическое осаждение из газовой фазы (CVD)

- процессы экспонирования электрон-чувствительных резистов

- процессы манипулирования отдельными атомами и молекулами

- создание локальных электрических зарядов в сегнетоэлектриках

Далее остановимся на некоторых из перечисленных процессов более подробно.