Порядок выполнения работы

1. Напустить воздух в вакуумную камеру и поднять ее.

2. Установить расстояние между электродами: 10, 12, 16 мм.

3. Закрыть камеру и провести откачку воздуха.

4. Установить с помощью натекателя давление, заданное преподавателем.

5. Включить блок высокого напряжения. Изменение величины напряжения осуществляется поворотом рукоятки ЛАТРа по часовой стрелке.

6. Снять зависимости тока тлеющего разряда от напряжения (построить ВАХ), давления и расстояния между электродами. Значение тока контролируется  по шкале амперметра.

7. Выключить блок высокого напряжения. Выключить вакуумный насос.

8. Напустить воздух в вакуумную камеру.

9. Выключить высокое напряжение. Прекратить откачку из камеры и включить натекание. Выключить механический насос и вакуумную установку.

 

СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА

 

1. Цель работы.

2. Краткие теоретические сведения.

3. Графические зависимости: ВАХ разряда, зависимость тока от давления и от расстояния между электродами.

4. Анализ результатов и выводы по работе.

 

КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ

1. Что такое плазма?

2. Каковы основные характеристики плазмы?

3. Какие существуют виды самостоятельных разрядов?

4. Что такое лавинная ионизация?

5. Какие операции можно выполнять с помощью плазмы тлеющего разряда при производстве изделий микроэлектроники?

6. Как влияет давление газа и расстояние между электродами на вольтамперную характеристику тлеющего разряда?

7. В чем суть закона Пашена?

 

 

ЛИТЕРАТУРА

1. Плазменная металлизация в вакууме/ А. П. Достанко [и др.] Мн.: –Наука и техника,  1983. – 279 с.

2. Сивухин, Д. В. Общий курс физики. Электричество. / Д. В. Сивухин. Мн.: – Навука i тэхнiка, 1993. – 532 с.

3. Калашников, С. Г. Электричество. / С. Г. Калашников. – 6-е изд. стер. –М.: Физматлит, 2003. – 624 с.

Лабораторная работа№5