Наиболее распространены следующие статистические обобщенные критерии.:
1) Процент выхода годных. Этот критерий обычно используется для оценки качества технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем. Пусть каждая микросхема оценивается одним критерием y. Из-за случайного разброса параметров технологического процесса значения критерия y тоже оказываются случайной величиной, имеющей область разброса и среднее значение yср. (математическое ожидание). Пусть задана область B допустимых значений y (см. рисунок).
Как видно из рисунка, часть значений y попадает в область В (это годные схемы), а часть оказывается за её пределами (это брак). Тогда можно записать обобщенный критерий:
Y имеет смысл вероятности. Тогда процент выхода годных будет равен Y* 100 %
2) Критерий надежност.
Пусть из-за изменений параметров устройства под влиянием климата и др., критерий yi дрейфует к предельно допустимому значению yiгр. со скоростью Vi:
Тогда время достижения границы yiгр. можно рассматривать как критерий надежности. Если рассматривать дрейф нескольких критериев, то критерием надёжности будет минимальное из ti: Y = мин (t 1, t2,…,tn)