Вакуумная и плазменная электроника 9 страница

где ∆ — смещение пятна на экране по оси х или у, мм;

U_{отк х} и U _{отк у} — отклоняющие напряжения, В.

Для наиболее часто применяемых однократно изломанных пла­стин чувствительность по отклонению равна:

(5.46)

где U_a2 —ускоряющий потенциал второго анода,

L—расстояние от края пластин до экрана.

Так как пластины Y находятся дальше от экрана по сравнению с пластинами X, то δ_y>δ_x. Обычно δ=0,3—0,6 мм/В. Цвет свечения экрана выбирают в зависимости от назначения трубок: зеле­ный— для непосредственного наблюдения, или синий — для фото­графирования. В первом случае используют ZnSiO₄·Mn, во втором —ZnS·Ag. Вторичные электроны с экрана собирают проводящим покрытием (слой мелкодисперсного графита — аквадаг), нанесенным на внутреннюю поверхность стеклянного балло­на, в котором размещены все элементы трубки, и отводят к аноду A₂, обычно имеющему потенциал Земли.

В качестве основных параметров осциллографических трубок в справочниках обычно указывают диаметр экрана и его цвет све­чения, номинальные напряжения на электродах трубки, а также чувствительность к отклонению.

Как было показано выше, с ростом ускоряющего напряжения U_a2 увеличивается яркость свечения экрана В, но падает чувстви­тельность к отклонению δ. Однако, если электроны луча ускорить после прохождения отклоняющей системы, то чувствительность трубки практически не уменьшится, а яркость свечения воз­растает.

Поэтому во многих трубках используется так называемое «по­следующее ускорение» (послеускорение) электронного луча, осу­ществляемое с помощью третьего анода A₃ (рис.5.26). Анодом A₃ служит проводящий слой на внутренней поверхности стеклянной колбы (нанесенный отдельно от остального покрытия), имеющий отдельный вывод для подачи ускоряющего напряжения. Таким образом, в трубках с послеускорением дополнительно ускоряется уже отклоненный электронный луч.

Для исследования нескольких быстропротекающих одновремен­но процессов используют многолучевые осциллографические труб­ки, у которых в одном баллоне располагаются два, четыре или шесть независимых электронно-оптических и отклоняющих систем. Оптические оси всех электронных прожекторов трубки пересека­ются в центре общего экрана. В таких сложных приборах преду­смотрено независимое регулирование всех параметров каждого электронного луча.

5.8. Кинескопы

Кинескоп — приемная электронно-лучевая трубка, применяемая в промышленном и вещательном телевидении для воспроизведения телевизионного изображения. В настоящее время промышленность выпускает кинескопы с диагональю экрана до 65 см и углом от­клонения луча до 110°, с белым цветом свечения, алюминированным экраном или с ионной ловушкой. Выпускают кинескопы для цветного телевидения, терминальных устройств ЭВМ, а также для проекционных телеустановок. Разработаны малогабаритные кине­скопы с диагоналями экранов 6, 11 и 16 см для переносных и автомобильных телевизоров.

Современные кинескопы имеют специфическую форму стеклян­ной колбы в виде усеченной прямоугольной пирамиды, основание которой имеет соотношение сторон 3:4, как стандартное телеви­зионное изображение. Дно колбы — из высокосортного дымчатого стекла стандартных размеров: прямоугольные экраны выпускае­мых кинескопов имеют диагонали 35, 43, 47, 53, 59, 61 и 65 см, круглые — диаметр 18, 23, 31 и 40 см. Дно колбы делают толстым, так как атмосферное давление на экран больших кинескопов мо­жет превышать 1000 кПа, и слегка выпуклым, чтобы изображение не имело заметного искажения. Использование дымчатого стекла, представляющего собой нейтральный светофильтр, уменьшает яркость ореолов и повышает контрастность изображения в не­сколько раз.

Люминофор черно-белых кинескопов представляет собой смесь двух люминофоров, дающих дополнительные цвета. Обычно при­меняют ZnS·Ag, обладающий синим свечением, ZnS·CdS·Ag, имеющий желтое свечение. Требуемая яркость свечения экрана должна быть не менее 30—40 нит, поэтому ускоряющее напряже­ние —10—20 кВ. Время послесвечения—не более 0,1 с.

Внутреннюю поверхность стенок стеклянной колбы покрывают аквадагом, через который подводится высокое напряжение к ано­ду трубки.

Прожектор кинескопа может быть как с электростатической, так и с магнитной фокусировкой луча. Кинескопы с прямоуголь­ными экранами, как правило, имеют прожектор с электростати­ческой фокусировкой: он потребляет небольшую энергию при вы­соких ускоряющих напряжениях и не расстраивает фокусировку. Если экран кинескопа не алюминирован, прожектор снабжается ионной ловушкой.

Типичной отклоняющей системой современного кинескопа является магнитная, позволяющая получать большие углы откло­нения без нарушения фокусировки.

В качестве параметров кинескопов обычно указывают диаго­наль или диаметр экрана, тип экрана, номинальные и предельно допустимые значения напряжений на электродах.

Как известно, любое цветовое ощущение может быть создано комбинацией трех цветов—зеленого, синего и красного. Цвет определяется относительными интенсивностями этих составляю­щих. На экран цветного кинескопа (рис.5.27) наносят около 1,5х10⁶ точек люминофоров трех основных цветов: зеленого ZnS·ZnSe·Ag, синего ZnS·Ag и красного ZnSe·Cu. Точки сгруппированы в триады, каждая имеет диаметр ~380 мкм и должна занимать на экране расчетное место с точностью ±5 мкм. Экран алюминируют. Вблизи мозаичного экрана 1 помещают маску 2 из нержавеющей стали толщиной 150 мкм с отверстиями диаметром 240±5 мкм. Число отверстий равно числу триад, т. е. около 0,5·10⁶ по всей площади маски. Отверстия изготавливают методом фотолитографии.

Рис.5.27. Внешний вид и схема триода кинескопа.

В горловине трубки размещают три электронных прожектора с электростатической фокусировкой 3. Электронные лучи, сфор­мированные прожекторами и несущие информацию о соотношении зеленой, синей и красной компонент в передаваемом изображении, отклоняются обшей магнитной системой 4 так, что оси пучков всегда пересекаются на маске в одной точке. При этом каждый из электронных лучей попадает сквозь отверстия маски только на «свою» одноцветную группу люминофоров. На коническую часть баллона наносится внутреннее токопроводящее покрытие с выво­дом наружу (анод кинескопа), снаружи также наносится слой графита, как и у черно-белых кинескопов.

Для изготовления цветного кинескопа из исходных материалов (стекло, прокат металлов, химические реактивы и т. п.) необхо­димо выполнить более 8000 технологических операций.

Недавно в терминальных устройствах ЭВМ стали использо­ваться дисплеи — кинескопы с прямоугольным экраном, на кото­рый выводится графическая или алфавитно-цифровая информа­ция. Графические дисплеи отличаются повышенной линейностью отклоняющих систем. Точечный растр обеспечивается системой разверток.

Контрольные вопросы

1. Какие элементы входят в электронную пушка?

2. От каких параметров зависит яркость экрана?

3. Какие пучки электронов называют параксиальными?

4. Какие линзы называют иммерсионными?

5. Как можно получить неоднородное магнитное поле?

6. Какая зависимость называется модуляционной?

7.Какому закону подчиняется величина изображения в электронно-оптической системе?

8. Что характеризует величина, называемая чувствительностью к отклонению?

9.Какое явление образует ионное пятно на экране?

10.Почему δ_у больше δ_х?

11. Для чего в конструкцию осциллографической трубки введен третий анод?

ТЕМА 6.ПЛАЗМЕННЫЕ ПАНЕЛИ ПЕРЕМЕННОГО ТОКА

6.1. Режимы работы [6]

Наиболее общим режимом работы плазменного дисплея пе­ременного тока является бистабильный режим, пли режим «па­мяти». В этом режиме элемент дает два уровня яркости: высо­кую яркость включенного (ON — вкл.) состояния и уровень вы­ключенного (OFF — выкл.) состояния. В бистабильном режиме яркость элемента не зависит от количества пелов в дисплее. Яркость определяется пересечением линии динамической на­грузки и характеристики плазменного разряда. В бистабильном режиме непрерывные прямоугольные импульсы переменного на­пряжения, называемого «поддерживающим напряжением», од­новременно прикладываются ко всем (параллельно соединен­ным) ячейкам. Это поддерживает «горение» разряда включен­ных (вкл.) ячеек, тогда как выключенные (выкл.) ячейки оста­ются «незажженными». Вследствие того что все ячейки соеди­нены параллельно, при использовании одного источника, под­держивающего напряжение, для большой матричной решетки требуются довольно большие поддерживающие токи.

В режиме подпитки проблемы, связанные с большими под­держивающими токами, исключаются, поскольку максимальное число ячеек, которые могут одновременно находиться во вклю­ченном (вкл.) состоянии, равно количеству ячеек на одной ска­нируемой линейке пелов. Поэтому генератор напряжения для всей панели в первую очередь задает ток смещения, величина которого определяется емкостью камеры панели. Режим под­питки (освежения) той же вышеописанной матрицы достигает­ся выбором соответствующего напряжения смешения, меньшего, чем оба напряжения в бистабильном режиме. Напряжение выборки, превышающее напряжение смещения, обе­спечивает отсутствие памяти, так как необходима подпитка («освежение») светящихся ячеек. Яркость зависит от напряже­ния питания и числа сканируемых линеек. Для получения мак­симальной яркости необходимо сканировать меньший участок матрицы. Таким образом, высокая яркость достигается на ма­лых дисплеях.

Разработана сдвигающая панель, работающая в бистабильном режиме. Для сдвига используется явление, за­ключающееся в том, что одна ячейка, находящаяся в непосред­ственной близости к другой ячейке, может служить ее входом. Обычно линейный направленный сдвиг информации в симмет­ричных приборах можно получить лишь для трехфазного (или с большим количеством фаз) напряжения питания. Это много­фазное напряжение передает включенное (вкл.) и выключенное (выкл.) состояния вдоль цепочки ячеек. По сравнению с мат­ричной конструкцией в подобной конструкции несколько уже рабочий диапазон. В трехфазном варианте шаг проводника на одной из замыкающих панель пластин равен 1/3 шага в матрич­ном дисплее с той же разрешающей способностью. Проводники второго уровня необходимы для связи всех линеек данной фа­зы. Для исключения второго уровня используется четырехфазное питание с проводниками в форме меандра или вариант с двумя наборами параллельных электродов, где эти наборы проводников расположены на противоположных подложках. Здесь, следовательно, необходимость второго уровня меж­соединений заменяется необходимостью точного задания взаим­ного расположения плат панели.

Основное внимание уделяется плазменным дис­плеям переменного тока с матричной адресацией, работающим в бистабильном режиме.

6.2.Принцип действия ячейки

Как показано на рис.6.1, конструктивно плазменная панель переменного тока состоит из двух подложек, образующих каме­ру, заполненную смесью неона и других газов. На каждой под­ложке расположен набор параллельных проводников, покры­тых прозрачным диэлектриком, и подложки расположены таким образом, что эти наборы проводников перпендикулярны. Выбранные точки пересечения этих проводников дают при прило­жении соответствующих сигналов локализованные пятна све­тящегося неона, создавая тем самым отображение информации.

На рис.6.1 в момент времени t₀ к ячейке прикладывается разность потенциалов V_ab, равная напряжению зажигания разряда V_f (или напряжению ионизации газа). Происходит ионизация газа, и электроны и ионы движутся к аноду и като­ду соответственно. Этот первый разряд создает первую вспышку неонового свечения и напряжение (за счет накопления зарядов на диэлектрических слоях), противоположное внешней разно­сти потенциалов и гасящее разряд.

В момент времени t₁ полярность внешнего напряжения изменяется, и по величине оно уменьшается до точки ниже V_f. Это пониженное приложенное напряжение называется поддерживающим напряжением ячейки. Поскольку полярность приложенного напряжения изменилась, теперь его направление совпадает с на­правлением напряжения на диэлектрических слоях, образованно­го при первом зажигании. Сумма этих двух напряжений превы­шает напряжение зажигания разряда, и происходит второй разряд. Этот второй разряд создает новый световой импульс и противоположно направленные заряды на диэлектрических слоях. В момент времени t₂ полярность снова меняется, иници­ируя третий разряд, вызывающий третью световую вспышку и противоположное напряжение на диэлектрических слоях.

Рис.6.1. Форма импульсов напряжения питания и соответствующие им заряды на диэлектрических слоях.

В итоге для зажигания первого газового разряда необходи­ма большая разность потенциалов V_f. Далее используется под­держивающее напряжение переменной полярности и меньшей амплитуды для генерации световых импульсов и зарядов, на­капливаемых на диэлектрических слоях при каждой смене по­лярности. Таким образом, ячейка оказывается включенной (вкл.) или «записанной», и она поддерживается в этом вклю­ченном состоянии. Типичные значения V_f и поддерживающего напряжения составляют 150 и 90 В соответственно.

Поддерживающее напряжение не может обеспечить зажи­гания без помощи напряжения на диэлектрических слоях; та­ким образом, для режима стирания требуется малое зажигаю­щее напряжение, которое не может создать напряжение на диэлектрических слоях, достаточное для последующих зажига­ний разряда. Это уменьшение напряжения на диэлектрических слоях до нуля или почти до нуля обычно достигается путем небольшого изменения амплитуды приложенного переменного сигнала.

Характеристики и принцип действия плазменной ячейки переменного тока рассматриваются прежде всего потому, что используемый в ней газообразный неон дает излучение види­мого диапазона. Это явление позволяет создавать решетки яче­ек для дисплейных панелей видимого диапазона. Газовый раз­ряд в ячейке эмиттирует свет из двух областей: отрицательного тлеющего разряда и положительного столба. Для смеси неона с добавкой 0,2% ксенона отрицательный тлеющий разряд дает излучение на длине волны 585 нм, а излучение положительного столба в основном лежит на 640 нм. Подобные смеси Пеннинга имеют но сравнению с чистым неоном меньший световой выход. Яркость ячейки задается усредненной во времени величиной импульсов света. Следовательно, максимальное значение ярко­сти световых импульсов, их изменение во времени и пространст­ве и частота следования определяют яркость элемента. Мгно­венный световой импульс во времени воспроизводит форму то­кового импульса и изменяется в зависимости от тока ячейки. Следовательно, если ток увеличивается с увеличением емкости и давления, то увеличивается и яркость. Кроме того, увеличе­ние частоты поддерживающего напряжения увеличивает число световых импульсов в единицу времени и также повышает яр­кость ячейки.

6.3.Материалы и технология изготовления панелей

Плазменная панель пере­менного тока собирается из двух независимо изготавливае­мых подложек, образующих камеру для газа. Затем панель через трубку заполняется соот­ветствующей газовой смесью и герметизируется. Схема это­го технологического процесса показана на рис.6.2. Для панелей, в техноло­гии которых используются «го­рячие» процессы, необходимо, чтобы каждая следующая ста­дия процесса производилась при температуре, исключаю­щей ухудшение свойств мате­риалов, нанесенных на преды­дущих операциях. Для «хо­лодной» технологии это требо­вание температурной иерар­хии снимается.

Рис.6.2. Технологический процесс изготовления плат и панели.

Подложка

Подложкой служит оконное стекло (силикат смеси СаО и NaOH, или натронная известь) толщиной от 3 до 6 мм в зави­симости от размера панели.

Проводники

Проводники создаются нанесением тонких или толстых пле­нок через трафареты или в виде сплошных слоев. Сплошные слои затем покрываются фоторезистом, экспонируются и про­являются. Затем проводники травятся в соответствии с тополо­гией резиста. Для панелей с малым разрешением можно исполь­зовать самые дешевые проводники, наносимые с помощью сеткографии. Фотолитографическая обработка многослойных тонкопленочных проводников для обеспечения высокой разре­шающей способности дисплея приводит к удорожанию процес­са. Нанесение проводников на подложку и их разделение на полоски требует хорошей адгезии проводников к подложке, пассивности по отношению к последующим этапам технологи­ческого процесса, высокой электропроводности, малых откло­нений размеров и малого количества пор, закороток или других дефектов в готовом проводнике.

а) Толстопленочные проводники. В панелях используются наносимые с помощью сеткографии полосковые проводники на основе золотой пасты со сравнительно малой разрешающей спо­собностью (меньшей или равной 1,2 лин./мм), шириной поряд­ка 150 мкм и высотой 12 мкм. Из-за дороговизны золотой пасты для проводников используются и другие металлические пасты, например никелевые. К толстопленочным проводни­кам предъявляются два требования: 1) иметь заданное значе­ние удельного сопротивления (Ом/кВ); 2) не реагировать с наносимым сверху диэлектрическим слоем.

Проводящие пасты смешиваются со стеклянной фриттой, обеспечивающей адгезию между подложкой и металлическими частицами. Обычно используются металлические проводники типа золота и никеля благодаря их пассивности. Разрешающая способность толстопленочных проводников улучшается при ис­пользовании фоточувствительного связующего материала. Этот материал применяется в качестве однородного слоя, подвергае­мого экспонированию и обработке. Можно получить линейное разрешение лучше 150 мкм с ровными краями линий.

После нанесения и задания топологии проводников подложки с пастой подвергаются термообработке для удаления свя­зующего вещества пасты, улучшения адгезии к подложке и спе­кания металлических частиц в проводящие полоски. Темпера­тура термообработки паст обязательно должна быть ниже температуры размягчения подложки. Даже если в активной части панели используются тонкопленочные проводники и сам экран задается топологией тонкопленочного проводника, про­водник по краям подложки может быть толстопленочным.

Как следствие требования высокой электропроводности про­водники должны иметь достаточно толщину, исключающую их прозрач­ность. К счастью, протяженность тлеющего разряда в газовой камере превышает ширину проводника (порядка величины меж­электродного зазора камеры). Однако, если ширина проводни­ка составляет значительную долю общей площади ячейки, доля видимого наблюдателю света может быть крайне мала.

Выполнение этого условия значительно облегчается при ис­пользовании проводников с прорезями, как показано на рис.6.3. Однако для этой конструкции потребуется тонкопле­ночная технология даже для панелей с малым разрешением, поскольку многочисленные проводники, соединенные параллельно и пропускающие свет, расположены очень близко друг к другу. Типичный проводник шириной 150 мкм можно превра­тить в проводник с прорезью, получив проводники шириной 50 мкм, разделенные 50-микронным зазором. Таким образом, для проводников с прорезями — даже в случае сплошного про­водника с низким разрешением — необходима тонкопленочная технология.

Рис.6.3. Геометрия проводника с прорезью.

б) Тонкопленочная технология. В тонкопленочных провод­никах обычно используется сочетание различных металлов. Первый слой — обычно хром, алюминий или тантал — применя­ется для улучшения адгезии и может иметь толщину (50–100) нм. Следующий слой, обычно толщиной до 1 мкм, обеспечивает электропро­водность, и для него используются металлы типа золота или меди. Третий слой используется для пассивации и адгезии, и он подобен первому слою. Для него можно использовать хром и никель.

Осаждение осуществляется испарением электронным лучом или распылением, причем из-за большой скорости осаждения материала чаще используется последний способ. Разделение проводника на полоски с помощью контактной фотолитографии ограничивается разрешением около 25 мкм вследствие большой площади подложки. Была показана возможность приме­нения распыления алюминия через направляющий углеродный трафарет с линейным разрешением 125 мкм. Чем больше разрешение, тем меньшую ширину должны иметь линии и тем жестче становятся требования к электропроводности материа­ла. Следовательно, необходима разработка новых методов осаждения для создания проводников с большим отношением веса к ширине. Кроме того, точка плавления (размягчения) металлов должна быть ниже температуры последующих термо­обработок.

Диэлектрические пленки [7]

Диэлектрическая пленка создает емкостную связь между проводниками и газом в камере. Величина емкости влияет на максимальный ток (и, следовательно, яркость) элемента и на амплитуду напряжений, необходимых для работы элемента. Эти электрические характеристики управляют также «распростра­нением поля», т.е. связью с соседними элементами. Таким об­разом, диапазон толщин и диэлектрических постоянных этого слоя важен для оптимизации работы панели.

а) Нанесение диэлектрической пасты. Диэлектрик может на­носиться на металлизированную подложку несколькими способами. Одним из способов является нанесение пасты, которая затем высушивается и нагревается до получения однородной стекловидной диэлектрической пленки. Температура затверде­вания этого стекла должна быть ниже температур размягчения подложки и проводящих пленок. Состав стекла должен исклю­чать взаимодействие с проводником во время термообработки.

Для типичных стекол диэлектрические постоянные лежат в интервале от 6 до 15, а толщина пленок меняется от 12 до 50 мкм, давая возможность задания необходимой емкости эле­мента. Нижняя граница толщины определяется возможностью создания однородного металлического покрытия, а верхняя граница — образованием пузырьков при затвердевании. В ка­честве таких стекол при низкотемпературных процессах ис­пользуются прежде всего составы на основе высоких окислов свинца.

б) Напыление диэлектриков. Известно также о напылении тонкопленочных диэлектрических слоев. В процессе напы­ления для получения минимальных напряжений в осаждаемой пленке может потребоваться подогрев подложки. Нижняя гра­ница толщины диэлектрического слоя задается требованием обязательного покрытия краев проводника и пробивным напря­жением диэлектрика. Благодаря этому методу напыления и от­носительной толщине диэлектрического слоя толщина провод­ника должна быть меньше, чем в технологии нанесения диэлек­трической пасты. Однако здесь нет столь жесткого ограничения температуры процесса напыления диэлектрика относительно допустимой температуры подложки, как в методе нанесения ди­электрической пасты. Толщина напыленного боросиликатного стекла составляет 3—15 мкм при величине диэлектрической постоянной, примерно равной 4,5.

Материалы защитного покрытия и газовые смеси

Материал защитного покрытия граничит с газовой смесью. Следовательно, рабочее напряжение и стабильность панели сильно зависят от взаимодействия защитного покрытия с газом. Обычно в качестве материалов защитных покрытий служат окислы, наносимые поверх диэлектрического слоя с помощью напыления тонкой (200—300) нм пленки.

Для получения низкого рабочего напряжения обычно ис­пользуется газовая смесь Пеннинга. В светогенераторных газо­разрядных панелях основным газом является неон, к которому добавляются аргон или ксенон в процентном отношении 0,01÷0,3% соответственно. Когда в качестве основного газа используется неон, эмиттируется оранжевый свет.

а) Рабочее напряжение. Зависимость напряжения зажигания разряда от параметров газа и защитного покрытия может быть представлено в виде:

(6.1)

где А и В — константы, определяемые газовой смесью;

р— дав­ление газа;

d — межэлектродный зазор камеры панели;

γ — коэффициент вторичной эмиссии материала защитного покры­тия.

При заданной газовой смеси для получения низкого рабо­чего напряжения необходимо иметь большое значение коэффи­циента γ. Считается, что материалы с большим коэффициентом вторичной электронной эмиссии имеют малую работу выхода или малое электронное средство. Для надежной «записи» (га­зового разряда в ячейке) одиночными импульсами необходимо

также малое время отклика разряда. Кроме того, покрытие должно иметь хорошие диэлектрические характеристики и ха­рактеристики поверхностного разряда, чтобы помехи при рабо­те ячейки были минимальны.

Величина γ зависит от отношения величины электрического поля, устанавливающегося между электродами ячейки, к дав­лению, т.е. от отношения Е/р, называемого приведенным полем. На рис.6.4 показаны типичные кривые. Резкий спад у при ма­лых Е/р на кривой 2 приводит к сужению области разряда.

Очевидно, что покрытия из окиси свинца и окиси иттрия сужа­ют область разряда сильнее, чем окись магния. Следовательно, можно сделать вывод о том, что для них γ резко спадает при малых значениях Е/р. В панели фирмы Owens-Jllinois, содер­жащей 1024·1024 элементов, 3,3 лин./мм, уменьшение степени взаимного влияния ячеек при высоком разрешении относится за счет покрытия из окиси иттрия.

Рис.6.4. Характеристика вторичной эмиссии.

На рис.6.5 показана зависимость напряжения зажигания от значений pd при одном и том же материале покрытия и сос­тава газа. Отметим, что существует величина pd, при которой напряжение зажигания минимально. Эта величина различна для различных газовых смесей. В противоположность этому эффекту диапазон памяти одиночной ячейки возрастает при

возрастании pd. Таким образом, выбор величины pd является компромиссным.

В табл. 6.1 приводятся сравнительные характеристики различных сравнительно стабильных покрытий по различного рода данным работ.

Рис.6.5. Зависимость напряжения зажигания разряда от произведения (дав­ление X расстояние).

Таблица 6.1 – Рабочие параметры при разных материалах защитных покрытий

Мате-риал	Коэффициент вторичной эмиссии	Напряжение зажигания разряда, В	Рабочее напря-жение	Газ	Время отклика разряда	Порог распы- ления, эВ
MgO	0,57			Ne+Ar (?)	Малое
Yb2O3
La2O3	0,55			Ne+Ar (?)	Малое
CeO2				Ne+Ar (?)	Большое
MgO				Ne+0,3Xe/ /1400 Торр	Малое
CeO2	0,41			Ne+0,3Xe/ /1400 Торр	Большое
La2O3 (90/10)

б) Стабильность. На временную стабильность рабочих на­пряжений влияют два фактора. Первый связан с изменением рабочего напряжения ячейки в зависимости от того, была ли она включенной (вкл.) или выключенной (выкл). Разница между включенной и невключенной ячейками связана с приро­дой загрязнений тугоплавких окислов, поскольку эти материа­лы склонны к образованию гидратов окислов или гидроксильных групп на поверхности. Наблюдаемые изменения напряже­ния не всегда имеют одинаковый знак для различных материа­лов защитных покрытий, и эти изменения коррелируются с пе­реносом гидроксильных групп или чистого водорода от вклю­ченных к невключенным ячейкам. Этот эффект слабее выражен в приборах на MgO, нежели на окислах редкоземельных эле­ментов. В образцах MgO, подвергнутых нагреву в вакууме, этот эффект удалось сильно понизить. На сделанных с помо­щью сканирующей электронной микроскопии фотографиях вид­но, что газовый разряд на переменном токе как бы полирует поверхность, т.е. удаляет и разлагает внешние слои с гидрата­ми окислов, порог распыления которых гораздо ниже, чем объ­емного материала.