Системы распыления магнитных материалов

Магнитные пленки из пермаллоя широко используются для изготовления запоминающих устройств на основе цилиндрических магнитных доменов.Однако применение типовых магнетронных систем для распыления магнитных материалов невозможно ввиду экранирующего действия мишени на магнитное поле устройства.

Для устранения экранирующего действия мишени возможно применение нагрева мишени на 10 – 15 ⁰С выше температуры Кюри мишени. Однако в ряде случаев тепловое излучение мишени повышает газовыделение с элементов конструкции установки. Кроме того, некоторые материалы, используемые в качестве подложек, критичны к повышенной температуре.

На Рис. 4 приведена схема магнетронной распылительной системы, позволяющая применять толстостенные мишени из магнитных материалов.

Рис. 4. Магнетронная распылительная система для магнитных материалов.

На Рис. 4 обозначено: 1 – кольцевая мишень из магнитного материала, 2 – радиально намагниченные магниты, 3 – экраны, 4 – полость для охлаждающей воды, 5 – магнитопровод.