Проекционная фотолитография

Недостатками контактной фотолитографии являются ограниченный срок службы фотошаблонов, сложность совмещения рисунков и ограничения по минимальным размерам элементов, которые могут быть получены при использовании данной технологии. Указанные недостатки устраняются при использовании проекционной фотолитографии, схема которой приведена на Рис. 4.

Рис. 4. Схема оптической проекционной литографии.

На Рис. 4 обозначено: 1 – микроскоп для контроля совмещения, 2 - ртутная лампа для экспонирования фоторезиста, 3 – голубой фильтр, 4 – маска, 5 – проекционные линзы, 6 – пластина, 7 – устройство фиксации пластины, 8 - полупрозрачное зеркало, 9 – зеленый фильтр, 10 – осветитель системы совмещения с лампой накаливания.

Изображение фотошаблона экспонируется на подложку, при этом микроскоп 1 позволяет одновременно наблюдать и фотошаблон, и подложку, что важно при совмещении нового фотошаблона с уже имеющимся рисунком на подложке при последовательном использовании нескольких фотошаблонов.