Лекция №8

На рис. 8.1 представлен эжекторный насос. Камера смешения 5 теплоизолирована от корпуса. На выпускном патрубке имеется холодильник 6, охлаждаемый проточной холодной водой. Сконденсировавшийся на стенках холодильника пар, обеспечивающий непрерывную циркуляцию рабочей жидкости в насосе, стекает в кипятильник по тубопроводу 7.

На рис. 8.2 представлен диффузионный насос. Пары рабочей жидкости из кипятильника 1 проходят по паропроводу 6 через зонтичное сопло 2 и конденсируются на стенках насоса, охлаждаемым холодильником 4. За время движения пара от конца сопла до стенок насоса в струю пара диффундируют молекулы откачиваемого газа. После конденсации парогазовой смеси выделившийся газ откачивается через выпускной фланец 5 насосом предварительного разряжения, а сконденсировавшийся пар стекает по стенкам насоса в кипятильник через зазор между паропроводом и корпусом насоса.

Предельное давление обусловлено обратным потоком рабочей жидкости из насоса в откачиваемый объект (вакуумную камеру): его можно уменьшить, если поставить на его пути ловушки.

В качестве рабочей жидкости в пароструйных насосах применяют ртуть, минеральные масла, эфиры, кремнеорганические жидкости.

8.1. Ионные вакуумные насосы

Направленное движение предварительно заряженных молекул газа под действием электрического поля является основой работы ионных насосов. Газ, поступающий в насос, ионизируется в пространстве 1, затем с помощью электродов 2, к которым приложена разность потенциалов U, направляется к выходному патрубку. Здесь ионы нейтрализуются и откачиваются насосом предварительного разряжения.

Основной недостаток – трудность обеспечения эффективной ионизации газа при низких давлениях, что препятствует промышленному применению таких насосов.