2015-01-21
402
| Наименование рабочей жидкости | Плотность, кг/м3 | Давление пара при 20 С, Па | Вязкость кинематическая при 50'С 10-6, м2/с |
| ВМ-1 | 5,3*10-6 – 2.66*10-7 | 65—69 | |
| Сложный эфир 5Ф4Э | 1,3*10-9 | ||
| Кремнийорганические ПЭС-В-1 (ВКЖ-94-А) | 6,6*10-6 | 16—33 | |
| ФМ-1 | 1,3*10-8 | 35—37 | |
| ПФМС-2 | 1050-1070 | 6,6*10-7 – 9,3*10-5 | 8—13 |
Магнитные электроразрядные насосы относятся к системам распыления материалов с холодным катодом. В магниторазрядном насосе под действием высокого напряжения и магнитного поля в разряженном газе возникает и поддерживается тлеющий разряд.
