Газовые системы оборудования п/п

Классификация газовых систем и требования к ним.

Газовая система установки п/п выполняет следующие функции: очистку, смешение, распределение, транспортирование, измерение и регулирование параметров газов и парогазовой смеси, а также утилизацию и нейтрализацию выводимых из реактора продуктов реакции. Для осуществления перечисленных функций газовые системы должны иметь соответствующее оборудование. Оборудование газовых систем при очистке газов: фильтры механические и электростатические, фильтры сорбционные, установки для сорбционной осушки, установки для диффузионной очистки и осушки.

Приготовление парогазовой смеси

Дозаторы барботажные, дозаторы поверхностного испарения, дозаторы диффузионные, дозаторы котельные, смесители, устройства введения ПГС

Распределение и регулирование параметров газов.

Регуляторы давления. Стабилизаторы давления. Стабилизаторы расходов. Запорные краны и вентили. Регулирующие вентили, натекатели, электромагнитные клапаны.

Измерение параметров газов.

Манометры механические и жидкостные. Ротамеры. Счётчики расхода. Расходомеры метрические и анемо метрические. Газоанализаторы. Измерители концентраций.

Автоматизация газораспределения и управление параметрами газов.

Программаторы командно временные. Программаторы расходов, концентраций, температур. Преобразователи расходов, давлений, температур, мощности.

Утилизация и нейтрализация вторичных газов.

Регенераторы. Гидрозатворы и свечи. Скрубберы.

По признакам;

1) по технологическому назначению

для эпитаксиальных, окислительных, диффузионных и других процессов

2) по агрегатному состоянию реагентов

с твёрдыми, жидкими или газообразными реагентами

3) по степени автоматизации

с ручным управлением, с автоматизированным в том числе программным управлением.

Технологические требования к газовым системам: