Эпитаксия - это процесс наращивания на поверхности подложки слоя вещества, который повторяет структуру подложки и называется эпитаксиальным слоем.
Автоэпитаксия - это процесс наращивания эпитаксиального слоя, повторяющего структуру и химический состав подложки (Si на Si; Ge на Ge).
Эпитаксиальный слой