Гидромеханическая отмывка

Кроме струи на подложки воздействуют беличьи кисти

или капроновые (нейлоновые) щетки, которые, совершая

сложные вращательные движения, увеличивают

смачиваемость поверхности и механически сбивают

загрязнения. Пластины крепятся вакуумным способом.

Тема: Эпитаксия.

Урок