Кроме струи на подложки воздействуют беличьи кисти
или капроновые (нейлоновые) щетки, которые, совершая
сложные вращательные движения, увеличивают
смачиваемость поверхности и механически сбивают
загрязнения. Пластины крепятся вакуумным способом.
Тема: Эпитаксия.
Урок