Изготовление фотошаблонов

Фотошаблоны являются основными инструментами фотолитографии, с их помощью производится локальное облучение фоторезиста в соответствии с рисунком микросхемы.

Фотошаблон - это плоскопараллельная стеклянная пластина с нанесенным на ее рабочую поверхность непрозрачным пленочным рисунком одного из слоев микросхемы, многократно повторенным с определенным шагом.

Для выполнения непрозрачного пленочного рисунка применяют металлы (хром Cr -металлизированные фотошаблоны), оксиды (Fe₂O₃ - цветные фотошаблоны).

Точность выполнения рисунка (маски) на фотошаблоне должна отвечать самым высоким требованиям.