Элементов III и V групп периодической системы

2. Межузельный механизм.

Атомы примеси, имеющие малые размеры,

внедряются в полупроводник между узлов кристаллической

решетки. Атомы примеси как бы "продавливаются" между

атомами, находящимися в узлах кристаллической решетки.

По данному механизму диффузия идет быстрее,

чем по вакансионному.

По межузельному механизму происходит диффузия