2015-03-07
578
1.4.1 В соответствии с таблицей заданий и указаниями преподавателя выбрать вариант исходных данных для работы.
Таблица заданий - варианты исходных данных
| № варианта | Исходная пластина | Внедряемая примесь | Загонка | Разгонка | ||
| Температура °С | Время, мин | Температура °С | Время, мин | |||
| КЭФ-0,5 | Бор | 5-сухое 45-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1,5 | Фосфор | 5-сухое 45-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0,4 | Бор | 10-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1 | Фосфор | 10-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0,3 | Бор | 10-сухое 57-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-2 | Фосфор | 10-сухое 57-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0,5 | Бор | 5-сухое 50-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1,8 | Фосфор | 5-сухое 50-мокрое 5-сухое | ||||
| КЭФ-0,2 | Бор | 10-сухое 50-мокрое 10-сухое | ||||
| КДБ-1,2 | Фосфор | 10-сухое 50-мокрое 10-сухое | ||||
| КЭФ-0,1 | Бор | 5-сухое 55-мокрое 5-сухое | ||||
| КДБ-1,5 | Фосфор | 5-сухое 55-мокрое 5-сухое |
1.4.2 Для своего варианта в соответствии с маркировкой пластины по графикам Ирвина определить тип проводимости и исходную концентрацию легирующей примеси CB. Постройте концентрационный график легирующей примеси в исходной пластине.
1.4.3 Из графика температурной зависимости предельных растворимостей в кремнии найти значение поверхностной концентрации внедряемой примеси в процессе загонки.
1.4.4 Вычислите глубину р-n перехода, получаемого в процессе загонки. Для этого по графику 4 найдите величину z (формула 15). Затем по графику Аррениуса 5 найдите величину 
и вычислите 
. Потом из формулы 15 найдите Xj.
1.4.5 Определите дозу введенной примеси в процессе загонки в соответствии с формулой 16.
1.4.6 Для процесса разгонки вычислите в соответствии с формулой 24 поверхностную концентрацию СS2, получаемую в конце обработки пластины.
1.4.7 Вычислите окончательную глубину p-n перехода после разгонки примеси. Для этого из графика 4 найдите величину z, соответствующую формуле 25, аналогично пункту 1.4.4 по графику Аррениуса 5 найдите величину 
и вычислите 
. Время t2 – это полное суммарное время всех термоопераций для стадии разгонки. Затем по формуле 25 найдите окончательную величину глубины р-n перехода.
1.4.8 Вычислите в 6 точках значения величин для таблицы 2
Таблица 2 – Концентрационные значения профилей легирования
| X | Загонка | Разгонка | ||||
| 
| С(x) | 
| 
| С(x) | |
| 0,2*Xj | ||||||
| 0,3*Xj | ||||||
| 0,5*Xj | ||||||
| 0,7*Xj | ||||||
| Xj |
и постройте в полулогарифмических осях концентрационные профили легирования диффузионного p-n перехода, получаемые после стадий загонки и разгонки. Отметь точки, соответствующие получаемым глубинам перехода.
