2015-03-07
285
Отчет должен содержать
¾ графики концентрационного профиля в исходной пластине, концентрационные графики внедренной примеси после стадий загонки и разгонки;
¾ подробный расчет параметров таблицы 2;
¾ подробный расчет параметров диффузионного p-n перехода (глубина, поверхностная концентрация, доза введенной примеси) для стадий загонки и разгонки;
¾ выводы и технические комментарии к работе
Эффект взаимодействия примесей: бора (база) и фосфора (эмиттер) – выдавливание базы эмиттером
|
Таблица – Значения дополняющей функции интеграла ошибок
| z | erfc(z) | z | erfc(z) | z | erfc(z) | z | erfc(z) |
| 1,00000 | 1,0 | 0,15730 | 2,0 | 0,00468 | 3,0 | 0,00002209 | |
| 0,1 | 0,88754 | 1,1 | 0,11980 | 2,1 | 0,00298 | 3,1 | 0,00001165 |
| 0,2 | 0,77730 | 1,2 | 0,08969 | 2,2 | 0,00186 | 3,2 | 0,00000603 |
| 0,3 | 0,67137 | 1,3 | 0,06599 | 2,3 | 0,00114 | 3,3 | 0,00000306 |
| 0,4 | 0,57161 | 1,4 | 0,04772 | 2,4 | 0,000689 | 3,4 | 0,00000152 |
| 0,5 | 0,47950 | 1,5 | 0,03390 | 2,5 | 0,000407 | 3,5 | 0,000000743 |
| 0,6 | 0,39614 | 1,6 | 0,02365 | 2,6 | 0,000236 | 3,6 | 0,000000356 |
| 0,7 | 0,32220 | 1,7 | 0,01621 | 2,7 | 0,000134 | 3,7 | 0,000000167 |
| 0,8 | 0,25790 | 1,8 | 0,01091 | 2,8 | 0,000075 | 3,8 | 0,000000077 |
| 0,9 | 0,20309 | 1,9 | 0,00721 | 2,9 | 0,000041 | 3,9 | 0,000000035 |
|
|
|
