Способ Чехральского

Установка для выравнивания монокристаллов полупроводников по методу Чохральского представляет собой кварцевый обогреваемый цилиндр с верхней и нижней крышками.

Нагрев тугоплавкого хигля производится высокочастотным индуктором.

Через верхнюю крышку вводят шток с монокристаллической затравкой, которая за счет частичного оплавления и отвода телпа от расплава понижает температуру до температуры кристаллизации.

Теперь затравку медленно вращают и поднимают. За ней вытесняется столбик расплава, который кристаллизуется в соответствии со структурой затравки.

Магнитные материалы