Эти элементы обладают большей надежностью, меньшими размерами и следовательно большей упаковки элементов, но более сложные в производстве. По сравнению с биполярными имеют меньшее быстродействие.
Различают 3 вида МОП структур:
1. p - канальные. методом фотолитографии и травления делаются окна в SiO2 далее методом диффузии наполняют эти области создавая сток и исток транзистора, при этом создается между стоком и истоком канал, который будет управляются затвором. И сверху всё закрывается пленкой, металлизируются контакты. В p-материале делается n-канал.
2. n - канальные. В n материале делается p-канал.
3. Комплиментарные. Это собирательный образ из двух каналов (КМОП структуры).