В основе работы микроскопа лежит принцип сканирования исследуемой поверхности тонким электронным зондом.
В результате взаимодействия зонда с веществом образуются разные токи, которые улавливаются соответствующими приёмниками и преобразуются в видеосигнал. Полученный видеосигнал поступаёт на телевизионный тракт, где он усиливается, преобразуется в телевизионный сигнал с последующим воспроизведением изображением на экране кинескопа видеоконтрольного устройства.
Тонкий электронный зонд на поверхности исследуемого образца формируется электронной оптической системой микроскопа (рисунок 1.5),которая включает в себя:
а) источник электронов – электронная пушка;
б) две формирующие электромагнитные линзы – конденсор и объектив;
в) стигматор;
г) отклоняющая система.
Для образования идеального растра на поверхности объекта и экране кинескопа необходимо, чтобы:
а) движение луча вдоль каждой строки происходило с постоянной скоростью;
б) расстояние между строками были одинаковыми;
в) все строки по длине были равны между собой.