Окисление пластин кремния и германия

Поверхности кремния и германия, подвергнутые описанной выше очистке, содержат тонкий естественный слой оксида (толщиной ~1-2 нм). Для получения поверхности с толщинами оксида порядка 1 мкм необходима специальная стадия термического окисления, выполняемая в диффузионной печи при температурах около 1150⁰ С с помощью высокотемпературных реакций с сухим или влажным кислородом. Эти процессы окисления хорошо исследованы и широко используются в электронной промышленности.

Главное внимание нами было уделено рассмотрению процесса термообработки для сращивания пластин кремния и германия во влажных условиях (включая использование химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания).