В этой связи интересно рассмотреть практически важный случай процесса окисления кремния, протекающего вдали от термодинамического равновесия, когда исходные продукты ( и ) «подводятся», а продукты реакции (например, ) «отводятся». Покажем ниже, что в этом случае к процессу окисления кремния в атмосфере кислорода возможен синергетический подход [35-38].
Допустим, что концентрации атомов Si и молекул и и константы скоростей и поддерживаются постоянными. Обозначим концентрации этих реагентов Согласно (2)-(4), скорости реакций могут быть записаны в виде
(5)
(6)
(7)
Согласно (2)-(4) и (5)-(7) полное изменение во времени равно сумме полных скоростей реакций , так что
+ + =
(8)
Изменяя в (8) соответствующим формальным образом единицы измерения времени и концентрации, можно записать
(9)