2015-04-20
394
В этой связи интересно рассмотреть практически важный случай процесса окисления кремния, протекающего вдали от термодинамического равновесия, когда исходные продукты (
и 
) «подводятся», а продукты реакции (например, 
) «отводятся». Покажем ниже, что в этом случае к процессу окисления кремния в атмосфере кислорода возможен синергетический подход [35-38].
Допустим, что концентрации атомов Si и молекул и и константы скоростей 
и 
поддерживаются постоянными. Обозначим концентрации этих реагентов 
Согласно (2)-(4), скорости реакций 
могут быть записаны в виде
(5)
(6)
(7)
Согласно (2)-(4) и (5)-(7) полное изменение 
во времени 
равно сумме полных скоростей реакций 
, так что
+ 
+ 
=
(8)
Изменяя в (8) соответствующим формальным образом единицы измерения времени и концентрации, можно записать
(9)
