Физико-химические основы smurt-cut технологий

Smart-cut технология создания структур КНИ и структур кремний на германии основана на контролируемом использовании следующих основных процессов: создание путем ионной имплантации пластинчатых дефектов (ПД), содержащих водород; преобразование этих дефектов путем термообработки; скалывание тонкого слоя материала по системе таких дефектов на всей площади пластины. Вкратце рассмотрим современные представления об этих процессах [32,33]. В пером приближении ПД можно рассматривать как микротрещины, поверхность которых насыщена водородом, создающим Si-H связи, а во внутреннем пространстве содержится водород. Процесс образования пластинчатых дефектов можно рассматривать как преципитацию водорода из пересыщенного раствора в кремнии и германии, сопровождаемую дополнительными химическими и физическими взаимодействиями. Согласно теоретическим представлениям, процесс преципитации состоит из стадий ядрообразования, роста и слипания (коагуляции). Рассмотрим эти стадии.