2015-05-10
589
Четырехзондовый метод.
Одним из важнейших электрических измерений получаемых пленок является определение их удельного (ρ) и поверхностного (RS) сопротивлений. Для этой цели удобнее всего использовать 4-х зондовый метод измерения, не требующий создания омического контакта к исследуемому образцу. Четырехзондовый метод основан на явлении растекания тока в точке контакта металлического острия зонда с полупроводником. Через одну пару контактов (чаще всего это крайние зонды 1, 4) пропускают ток I, а между двумя другими контактами (внутренними зондами 2, 3) измеряют разность потенциалов U. Схема измерения представлена на рисунке 2.1.
Рисунок 2.1 - Электрическая схема измерения удельного и поверхностного сопротивления 4-зондовым методом
ИН – источник постоянного напряжения, U – вольтметр
