Раздел 3. Оборудование для определения толщины нанесенных пленок

Стилусный профилометр Alpha-Step ® D-100.

Стилусный профилометр Alpha-Step® D-100 позволяет быстро получать 2D-топографию поверхности и высчитывать её характеристики. Профилометр Alpha-Step® D-100 обеспечивает диапазон перемещения по вертикали в 800 микрон (возможно опциональное увеличение до 1.2 мм), суб - ангстремное разрешение сканирования, повторяемость в измерении высоты в пределах 6 ангстрем, столик для установки образцов с возможностью регулировки в трех плоскостях, а так же множество других полезных особенностей.

Графический интерфейс Alpha-Step® D-100 является мультидокументным и позволяет отображать данные сканирования одновременно с процессом сканирования, что дает возможность пользователю анализировать данные и одновременно выполнять дополнительные измерения.

Программное обеспечение Alpha-Step® D-100 позволяет автоматически расставлять уровни на полученных изображениях, измерять параметры изображений и выводить полученные результаты в удобном виде таблицы пригодной для использования в MS Excel. В интерфейсе Alpha-Step® D-100 все окна являются независимыми, это означает что и панели управления, и окна вывода данных, и окна сканирования в реальном времени, а так же окна с итоговыми результатами сканирования могут быть размещены в любом месте экрана. Эта особенность делает интерфейс Alpha-Step® D-100 гибким и мощным инструментом для получения и анализа данных.

Метод стилусной профилометрии.

Поверхностная профилометрия – это метод непосредственного зондирования поверхности наблюдаемого объекта с целью определение зависимости высоты рельефа поверхности от координаты на плоскости.

Профилометр - это прибор для измерения двумерного профиля поверхности образца представления результатов в виде кривой линии - профилограммы, Принцип действия профилометра с механическим зондом - это поступательное перемещение специального зонда (иглы), называемого стилус или индентор, перпендикулярного к поверхности исследуемого объекта и касающегося ее. Перемещения индентора преобразуются оптическим или электрическим способом в электрические напряжения с помощью индуктивных, ёмкостных, пьезоэлектрических или других преобразователей.