Содержание работы. В работе изучаются механизмы роста, структура и свойства тонких плёнок

В работе изучаются механизмы роста, структура и свойства тонких плёнок. Измеряются толщина приготовленных плёнок различных металлов (Cu, Ni, Al и др.), сопротивление каждого образца и рассчитываются удельное и удельное поверхностное сопротивление, а также параметры размерного эффекта.

Обучение осуществляется в процессе выполнения домашних и лабораторных заданий. Контроль усвоения полученных студентами знаний и навыков производится при собеседовании путем оценки ответов на контрольные вопросы, а также при выполнении лабораторной работы.

Время выполнения домашних заданий 3 ч. Общее время на выполнение лабораторных заданий, включая собеседование и отчет по лабораторной работе 4 ч.

Указания по технике безопасности

В процессе работы необходимо соблюдать общие правила техники безопасности при работе с электроустановками напряжением до 1000 В.

ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ

УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ

Задание № 1

Изучить механизмы роста и особенности структуры тонких металлических плёнок.