Виды испарителей

Испарители бывают резистивные и электронные.

В резистивных энергия получается за счет выделения теплоты при прохождении тока через нагреватель, или испаряемый материал. Материал испарителя — вольфрам, или молибден.

В электронных испарителях кинетическая энергия электронов преобразуется в тепловую. Испаряемый материал используется в виде сплошной проволоки, на свободный конец которой воздействует электронный луч.

Ионное распыление. Оно основано на явлении разрушения твердых материалов при бомбардировке их поверхности ионизиро­ванными молекулами разряженного газа. Процесс не связан с высокими температурами и позволяет получать пленки тугоплавких металлов и сплавов. Различают следующие виды ионного распыле­ния: катодное, ионно-плазменное и магнетронное.

Оно используется для получения резистивных пленок, проводников из меди/алюминия, диэлектрических покрытий из оксида кремния.

Достоинствами метода являются: высокая чистота получаемой пленки, удобство контроля её толщины в процессе напыления, простота выполнения.

Недостатки: малая равномерность по толщине при осаждении на большую площадь; трудность испарения тугоплавких материалов; высокая инертность процесса при использовании резистивных испарителей; сравнительно невысокая плотность сцепления с подложкой.

Ионное распыление основано на явлении разрушения твердых материалов при бомбардировке их поверхности ионизированными молекулами разряженного газа.

Процесс не связан с высокими температурами; позволяет получить плёнки тугоплавких металлов и сплавов. Ионное распыление бывает катодное, ионно-плазменное и магнетронное.